產(chǎn)品分類
VT6000光學(xué)顯微共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW納米級(jí)白光干涉三維測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短,確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。
CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力臺(tái)式掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。它用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
CEM3000系列國(guó)產(chǎn)鎢燈絲高分辨率臺(tái)式掃描電鏡不僅擁有強(qiáng)大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力,而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠。它的抗振設(shè)計(jì)在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。
VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測(cè)量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。
NS系列沉積薄膜高度臺(tái)階儀能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
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